Procédés Plasmas et Matériaux

une équipe du laboratoire IEMN, une collaboration CNRS/Université Lille 1

Afterglow Plume Microwave Cavity

Bienvenue sur le site de l'équipe de recherche P2M

L'équipe P2M est spécialisée dans l'étude des plasmas non thermiques, ainsi que la conception des réacteurs plasmas et les diagnostics des plasmas froids. L'équipe est aussi impliquée dans l'étude des dépôts de couches minces, avec une attention particulière à la modification et la fonctionnalisation des surfaces et le développement de nouvelles applications des plasmas froids aux procédés de microfabrication

Auparavant, l'équipe était connue sous le nom de GéPIFRéM (Génie des Procédés d'interaction Fluides Réactifs UPRES EA n° 3571), avant d'intégrer l'Institut d'Électronique de Microélectronique et de Nanotechnologie (UMR CNRS 8520) à l'Université de Lille 1 en tant que l'équipe Procédés Plasmas et Matériaux

Contact

IEMN - Équipe P2M
Batiment P3, Bureau 314
Cité Scientifique
59652 Villeneuve d'Ascq, FRANCE
Phone: +33 (0)3 20 19 79 79
Fax: +33 (0)3 20 43 41 58

Access: Campus map [pdf]

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